无尘室洁净标准
(GB50073-2001)
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空气洁净度等级（N） |
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子） | |||||
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0.1 um |
0.2 um |
0.3 um |
0.5um |
1um |
5 um | |
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ISO Class 1 |
10 |
2 |
|
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| |
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ISO Class 2 |
100 |
24 |
10 |
4 | ||
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ISO Class 3 |
1 000 |
237 |
102 |
35 |
8 | |
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ISO Class 4 |
10 000 |
2 370 |
1 020 |
352 |
83 | |
|
ISO Class 5 |
100 000 |
23 700 |
10 200 |
3 520 |
832 |
29 |
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ISO Class 6 |
1 000 000 |
237 000 |
102 000 |
35 200 |
8 320 |
293 |
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ISO Class 7 |
|
352 000 |
83 200 |
2 930 | ||
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ISO Class 8 |
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3 520 000 |
832 000 |
29 300 | ||
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ISO Class 9 |
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35 200 000 |
8 320 000 |
293 000 | ||
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注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。 | ||||||
