12寸/8寸/6寸晶圆烘烤箱
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晶圆智能烘箱采用智能烘箱过程管理系统，由上海旦顺实业有限公司自主研发，基于TCP/ip协议，与工厂系统对接，实现自动化烘烤，过程管理。控制方便、操作简单、灵活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的构造，大大提高生产效力！ 无尘烘箱主要应用于半导体晶圆片光刻涂胶镀膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂胶后的软烘焙Soft baking)，曝光、显影后的坚膜硬烘（Hard baking)等工艺，适用半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料的洁净、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、医药、光学镀膜、精密元件干燥等生产工艺以及研发机构。 晶圆智能烘箱主要参数介绍： 温度范围：室温+20℃～250 均匀度：±1.5% 洁净等级： Class100 升温速度：常温～250℃,升温速度>6℃/min 降温速度：降温斜率程序可控，200℃～ 120℃，3.5度/分钟，120℃～ 65℃约1.5度/分钟 控制系统：欧姆龙PCL+PC工控电脑。 智能控制系统特点： ◆ 可接入MES和ERP通讯 ◆ 权限分级管理，给每个管理者、工程师、操作员独立用户名和密码 ◆ 智能控制系统,历史数据、操作、报警，事件等等数据查询，记忆操作步骤，操作便捷 ◆ PC 内部记录数据，使用 Excel 等常用软件可以读取，最短数据记录间隔5S； ◆ 工厂系统，选择烘烤工艺，启动/停止烘箱； ◆ 工厂系统根据，过程判断待烤料件工位，记录反馈工位信息； ◆ 系统控制开/关门等动作； ◆ 系统记录并处理各种烘箱异常事件。如：超温，氮气不足，含氧量超标、门未关到位； ◆ 实施记录各种相关数据，如，温度，料件ID，工艺信息 |
